精密转台、机械转台

1. 精密气浮转台

•大扭力输出，直接驱动无槽，无刷伺服马达

•无顿转 (Zero cogging)伺服马达以提供极高之速度稳定性

•**的误差运动(Error Motion) 与偏转(Runout)特性

•直接耦合，高精度旋转编码器 (光栅)

•大尺寸中空口径

•完全无机械接触

空气轴承旋转平台提供杰出之角度定位精度，速度稳定性，与误差运动规格，同时维持大负载能力与轴向与径向刚性。ABRT可达到DVD刻板 (DVD mastering)，晶圆检测，高精度量测，X-ray绕射，光学元件检测与生产，微机电 /奈米装置生产之各种严苛要求。

2. 精密气浮转台

•直接驱动无槽，无刷伺服马达

•无顿转(Zero cogging) 伺服马达以提供极高之速度稳定性

•**的误差运动(Error Motion) 与摆动(Wobble)特性

•直接耦合，高精度旋转编码器 (光栅)

•平面式设计，降低平台高度

•完全无机械接触

ABRS系列空气轴承旋转平台提供杰出之角度定位精度，速度稳定性，与误差运动规格同时维持极低的平台整体高度。ABRS可达到晶圆检测，高精度量测，X-ray绕射，光学元件检测与生产，微机电 /奈米装置生产之各种严苛要求。ABRS之特殊设计能够将平台高度降到最低。

3. 精密转台

•大扭力输出，直接驱动无槽，无刷伺服马达

•无顿转(Zero cogging) 伺服马达以提供极高之速度稳定性

•**的误差运动(Error Motion) 与偏转(Runout)特性

•直接耦合，高精度旋转编码器(光栅)

•大尺寸中空口径

系列机械轴承直驱旋转平台提供杰出之角度定位精度与速度稳定性，适用于取放设备，高速雷射加工，高精度晶圆检测等。大尺寸双轴承提供最高的性能并维持杰出之摆动 (Wobble)，侧向刚性，与重複精度。大尺寸之轴承提供高负载并维持高性能。

4. 精密转台

•大扭力输出，直接驱动无槽，无刷伺服马达

•无顿转(Zero cogging) 伺服马达以提供极高之速度稳定性

•直接耦合，高精度旋转编码器(光栅)

•极低的平台高度降低工作高度

设计理念是将平台高度降到最低。极低的平台高度降低累加误差，另外，ADRS提供中空孔径可以提供物件通过如雷射光束传导。ADRS具有极低的保养需求与高产能，提供使用者最低的拥有成本。

的定位平台非常适合用于工业机器人、光纤光学和光子学、视觉系统、机床、装配、半导体设备、医疗部件激光加工、超精密微细加工、硅片检查、电子制造业、航空电子设备等高性能应用以及其他工业自动化应用。此外， Aerotech 制造的高性能驱动器和控制器可与我们的直驱旋转平台完美匹配，为您提供完美的运动控制解决方案。